微波微电子机械开关

• 作者: 梁春广 顾洪明 高葆新
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械开关 应用
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 所属期刊栏目: 设计与开发
• 页码范围: 27-28,52
• 页数: 4页
• 分类号: TM564
• 字数: 851字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2000.05.009

摘要

介绍了微波微电子机械开关(MEMS开关)的形式、物理特性,分析了其工作原理.文中采用一端固定、一端自由运动的悬臂梁的力学模型,给出了MEMS开关设计的经验公式.最后,对微电子机械开关在MMIC中的发展前景作出了预测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高葆新	清华大学电子工程系	30	105	5.0	9.0
2	顾洪明	清华大学电子工程系	4	3	1.0	1.0