p型金刚石欧姆接触的研究

• 作者: 俞琳 刘东红 戴瑛 闫翠霞 龙闰
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: p型金刚石 欧姆接触 金属
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 支撑技术
• 页码范围: 44-47
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.93
• 字数: 3083字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2006.01.014

摘要

金刚石的欧姆接触是制造半导体器接触的研究进展,结合器件的发展和实际工艺的要求,讨论了改善欧姆接触特性的途径和方法,指出目前存在急需解决的一些问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘东红	山东大学物理与微电子学院国家晶体材料重点实验室	25	110	7.0	10.0
2	戴瑛	山东大学物理与微电子学院国家晶体材料重点实验室	25	174	7.0	12.0
3	俞琳	山东大学物理与微电子学院国家晶体材料重点实验室	6	62	4.0	6.0
4	龙闰	山东大学物理与微电子学院国家晶体材料重点实验室	2	9	2.0	2.0
5	闫翠霞	山东大学物理与微电子学院国家晶体材料重点实验室	4	9	2.0	3.0