网版参数对单晶硅太阳电池栅线印刷的影响

• 作者: 严婷婷 卞宝安 李果华 杨健 牛源 陈如龙 鲁科
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 丝网印刷 密栅 感光胶 网版目数 下墨量
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 半导体先进制造技术
• 页码范围: 934-938
• 分类号: TN914.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2012.12.007

摘要

常规太阳电池表面由于扩散浓度高,导致载流子复合严重,电池转换效率很难提高,目前高方阻密栅线工艺是提高产业化太阳电池转换效率的重要途径之一.通过扩散工艺很容易实现高方阻,难点在于优化电池正面网版参数,得到最优的栅线形貌及高宽比.针对该问题,基于丝网印刷网版参数,研究不同感光胶EOM膜厚、网版纱度、网版目数、下墨量对单晶硅太阳电池栅线印刷的影响,使用扫描电子显微镜(SEM)和激光共聚焦显微镜(LSM)观察了栅线的形貌、高宽比.结果表明感光胶并非越厚越好,当感光胶厚度达到20 μm时栅线的高宽比达到最优,此时电池的转换效率最高；当网版目数、线径相同时纱厚较小的网版印刷出的栅线较均匀；当网版目数、线径均不同时,下墨量大的网版具有优势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨健		7	31	3.0	5.0
2	严婷婷		2	5	2.0	2.0
3	陈如龙		8	42	4.0	6.0
4	卞宝安	江南大学理学院	11	10	3.0	3.0
5	牛源	江南大学理学院	1	3	1.0	1.0
6	鲁科		1	3	1.0	1.0