基于X光检测的元器件任意形状气泡提取方法

• 作者: 万燕英 刘骏 褚夫国 高红霞
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: Canny边缘检测 数学形态学 气泡检测 X光图像 元器件封装
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 半导体检测与测试技术
• 页码范围: 815-818
• 分类号: TN307
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2012.10.016

摘要

目前,X射线检测技术广泛应用于元器件的缺陷检测.但X光图像低灰度、低对比度的特点以及气泡形状的任意性,使得X光图像检测提取气泡并确定其位置成为元器件检测中的一个难题.元器件气泡的检测质量直接影响到元器件检测的速度以及准确性.通过对现有图像问题的分析,提出一种快速提取气泡的方法.该方法首先对X射线图像进行高斯滤波、对比度拉伸等预处理,然后采用Canny边缘检测确定气泡边缘,再应用数学形态学膨胀、区域填充等图像处理方法最终得到完整的气泡轮廓.实验结果表明,此方法能很好地满足元器件检测的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高红霞	华南理工大学自动化科学与工程学院	22	158	10.0	12.0
2	刘骏		4	8	2.0	2.0
3	褚夫国	华南理工大学自动化科学与工程学院	1	3	1.0	1.0
4	万燕英	华南理工大学自动化科学与工程学院	1	3	1.0	1.0