高效单晶硅PERC局部背表面场及接触的优化

• 作者: 史金超 张伟 徐卓 李锋 王红芳 王英超
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 背面钝化 局部背表面场(LBSF) 接触 激光 金属化
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 所属期刊栏目: 半导体制造技术
• 页码范围: 850-854
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2017.11.008

摘要

钝化发射极和背面电池(PERC)技术可有效提高电池效率,在常规p型电池的背面增加了钝化层,并形成了局部背表面场(LBSF)结构.介绍了PERC结构电池的工艺流程,分析了背场(BSF)的形成机制,主要研究了PERC的LBSF制备工艺及影响要素.通过采用激光消融后清洗方法改善了背表面形貌,平整的背表面形貌有利于BSF的形成.通过优化烧结条件,电池的填充因子得到改善.讨论了激光开槽图形对开路电压以及填充因子的影响.测试结果表明,PERC转换效率绝对值提升了0.9％,达到20.83％,填充因子达到80.7％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐卓		1	0	0.0	0.0
5	王红芳		1	0	0.0	0.0
6	王英超		1	0	0.0	0.0
7	李锋		1	0	0.0	0.0
8	史金超		1	0	0.0	0.0
9	张伟		1	0	0.0	0.0