PECVD工序硅片上下料时掉片的解决措施

• 作者: 吕沫
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: PECVD 掉片 机械精度 机器人运动轨迹
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 新工艺新技术
• 页码范围: 178-181
• 页数: 4页
• 分类号: TM914
• 字数: 3374字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14176/j.issn.1001-3474.2020.03.015

摘要

在太阳能电池片(硅片)的生产工艺流程中,镀膜(PECVD)工序硅片的自动化传输由全自动石墨舟上下料机完成.通过对机械精度的调整和优化机器人运动轨迹,制定了针对机器人插片时掉片这一问题的解决措施.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕沫	中国电子科技集团公司第二研究所	7	22	3.0	4.0