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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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91. 石英真空计的工作原理刊名： 真空发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 本文介绍石英真空计的原理及石英晶振的特性.
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刊名： 真空发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 提出了用线性真空规测量小孔分子流流导的方法,该方法利用了线性真空规两次测量压力的比值,避免了真空规测量绝对压力引入的不确定度,从而有效减小了小孔流导的测量不确定度.文章介绍了小孔流导的测量原...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 分析了在分子流态下差分真空系统中充气气流效应的存在,通过引入了差分比,定量计算出充气气流效应对差分真空系统的影响.
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刊名： 真空发表期刊： 2007年5期页码:摘要：
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95. 提拉法单晶炉室与抽真空充气系统刊名： 真空发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 炉室是单晶炉的中心环节,内置坩埚、晶体材料、加热系统和保温罩等.直拉法是在半导体领域中应用最广,产量最大的单晶制备方法.本文以提拉法单晶炉为例先介绍不同于其它设备的各种炉室结构、形状及原因,...
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96. 真空泵系统的级间冷却方案刊名： 真空发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 探讨了真空泵系统中冷却装置的方案,定性讨论了真空系统级间冷却方式的选择,给出了理论选型原则,通过实例分析,指出在真空系统工程设计中,需要给出系统工程化解决方案,更能保证真空系统高效安全运行.
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97. BEPC Ⅱ注入器真空系统改造刊名： 真空发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 注入器真空系统的改造由为各种微波功率源系统服务的真空系统和常规真空系统组成,根据实践工作中的着重点,详细介绍了注入器真空系统工作特点,并从原理及工艺上对各种新改造的子系统如电子枪真空系统、正...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 本文分析了电磁隔断/充气阀在上电和失电过程中向真空系统返大气的原因,并通过试验介绍了所开发的SD系列专利电磁隔断/充气阀在任何情况下(开机,关机,突然停电和误操作)都不返大气和油蒸汽的优越性...
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99. 真空管道中直线电机冷却方案研究刊名： 真空发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 真空管道运输的可行性已经得到国内外专家的论证.但是作为其主要的推动力部件直线电机,在真空环境下工作所产生的热量累积是一个不可忽视的问题.为此,本文设计了两种不同的冷却方案,方案(a)和方案(...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 本文介绍了工频NbTi超导线材井式真空氮气保护热处理炉的设备组成、主要技术参数、结构特点和两种热处理状态下试验数据的对比分析,并指出了该设备在NbTi超导线材制造行业推广应用的前景.
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101. 溅射离子泵开关电源的设计刊名： 真空发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 针对溅射离子泵高压电源应具有的负阻特性,本文详细介绍了负阻性DC/DC开关电源控制电路的组成和工作原理.在此基础上,成功研制了一台输出电压根据真空系统气体压力连续自动调节,可短路工作的高压D...
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102. 射频电源有关问题的探讨刊名： 真空发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 在射频溅射镀膜中,射频电源的反射功率偏大和靶打火一直是困扰行业的问题,本文从理论上说明射频系统和网络匹配问题,并结合实际和试验,讨论如何降低反射功率和减少靶打火的问题,并提供解决问题的相关资...
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103. 真空泵、真空阀门质量检测公告刊名： 真空发表期刊： 2007年5期页码:摘要：
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104. 第十五讲真空工程封接技术刊名： 真空发表期刊： 2007年5期页码:摘要：
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105. 分流法超高/极高真空校准装置性能研究刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 分流法超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统三部分组成.使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气在XHV校准室获得了10-10 Pa的极高...
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106. 山楂浆抽真空冻结干燥的实验研究刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 山楂营养丰富,食用不便,冻干加工成山楂粉,可作为食品添加剂.为保存营养成分,节能降耗,降低产品成本,开展了对山楂浆抽真空自冻结,优化干燥工艺的实验研究,给出了冻干参数对冻干速率,冻干时间,冻...
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107. 用磷矿石真空制备黄磷的热力学研究刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 引入"物质吉布斯自由能函数法"讨论在不同压力下,磷酸钙、二氧化硅与还原剂碳的反应生成黄磷的热力学条件.研究表明在常压下反应在1460K以上发生;真空条件下,压力降到60～6 Pa时,反应在1...
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108. 磁控溅射靶的磁路设计刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 磁控溅射是现代最重要的镀膜方法之一,具有简单,控制工艺参数精确和成膜质量好等特点.然而也有靶材利用率低、成膜速率低和离化率低等缺点.研究表明磁场结构对上述问题有重要影响,本文介绍了一种磁控溅...
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109. 一种全靶腐蚀磁控溅射设备刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 传统的磁控溅射设备由于等离子体在靶面形成跑道效应,所以存在着靶材利用率低,反应溅射过程中稳定性差的问题.M.J.Thwaites提出了一种利用磁场将等离子体产生与溅射分开的结构,本文基于这种...
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110. 将真空蒸发镀膜机改造为多功能镀膜机刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 本文阐述了改造普通真空蒸发镀膜机为多功能镀膜机的意义,叙述了具体的改造方法,介绍了改造后的多用途镀膜机在本科生教学实验和科学工作中的应用与效果.
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111. 类金刚石膜的性能、制备与应用(一)刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 类金刚石(DLC)膜是一种含有大量sp3的亚稳态非晶碳薄膜.本文简要地介绍了DLC膜的形成原理、制备方法、发展现状,及其在机械、电子、光学、声学、生物医学等领域的应用与存在的问题.
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112. 信息刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要：
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113. 硒源温度对CIGS薄膜结构和形貌的影响刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 采用中频交流磁控溅射方法,在Mo层上沉积了CuInGa(CIG)预制膜,采用固态硒化法制备获得了Cu(In1-xGax)Se2(CIGS)吸收层薄膜,考察了硒源温度对CIGS薄膜结构和形貌的...
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114. 低能电子束制备硅基纳米薄膜微结构研究刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 本文提出了一种新颖的结合自组装技术和电子束直写曝光以及选择性化学沉积制备图案化薄膜方法.利用X-射线光电子能谱(XPS),扫描电子显微镜(SEM),透射电子显微镜(TEM)紫外可见光谱仪(A...
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115. 直流磁控溅射制备铝薄膜的工艺研究刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 采用直流磁控溅射方法,以高纯Al为靶材,高纯Ar为溅射气体,在玻璃衬底上成功地制备了铝薄膜,并对铝膜的沉积速率、结构和表面形貌进行了研究.结果表明:Al膜的沉积速率随着溅射功率的增大先几乎呈...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 本文采用射频反应磁控溅射技术制备氧化铬涂层并在不同温度及不同的保温时间内进行热处理,通过X射线衍射、纳米压痕、摩擦磨损测试仪等研究温度及保温时间对涂层结构、表面形貌、硬度、弹性模量、耐磨性及...
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117. 会议消息刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 采用射频磁控溅射法在单晶硅表面制备了类金刚石薄膜;对薄膜的电阻率进行了测量,研究了薄膜的溅射工艺参数,采用拉曼光谱、原子力显微镜、扫描电镜分析了薄膜的结构、表面形貌以及薄膜的截面形貌.结果表...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 采用真空热蒸发法在玻璃、单晶硅衬底上制备Ce2O3掺杂TiO2薄膜,研究热处理和Ce2O3掺杂对薄膜性能的影响.结果显示,热处理可明显改善薄膜的结构和光学性能,Ce2O3掺杂可降低薄膜晶型转...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 利用直流磁控溅射法在有机薄膜衬底和普通玻璃衬底上制备出了具有良好附着性的ZnO∶Al透明导电膜,对制备薄膜的结构和光学特性进行了比较研究.研究发现:铝掺杂的氧化锌薄膜是多晶膜,具有六角纤锌矿...
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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