超声引线键合点形态及界面金属学特征

• 作者: 李明雨 王春青 计红军
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 扩散 超声键合 可靠性
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 249-253
• 页数: 5页
• 分类号: TG40
• 字数: 3911字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2005.05.001

摘要

采用超声键合的方法,研究了键合点的形成原因,通过SEM及EDX分析发现超声键合过程中存在扩散现象.对键合点进行了老化试验,考察了键合点上25μm直径的质量分数为Al+1%Si引线的组织演变情况,在170℃下,随着老化时间的延长,键合点上引线内部形成了大量的微裂纹和孔洞,连接成线,与超声振动方向平行,分析了产生原因以及对键合点可靠性的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王春青	哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室	96	921	16.0	24.0
2	李明雨	哈尔滨工业大学深圳研究生院	31	285	8.0	16.0
3	计红军	哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室	7	41	4.0	6.0