薄膜与基体间的附着力测试

• 作者: 崔彩娥 潘俊德 缪强
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 基体附着力 测试
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 新工艺新技术
• 页码范围: 294-297
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2931字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2005.05.012

摘要

薄膜是一种特殊形态的材料,在微电子等领域得到了广泛的应用.薄膜与基体间的附着性能在很大程度上决定了薄膜应用的可能性和可靠性,但是,迄今为止对薄膜与基体间界面的了解还不够深入,也没有一种通用的测量技术.阐述了薄膜与基体间的附着机理和增加附着力的途径,介绍了胶粘法、划痕法等各种比较常用的附着力测试方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘俊德	太原理工大学表面工程研究所	49	912	15.0	29.0
2	崔彩娥	太原理工大学表面工程研究所	48	459	12.0	20.0
3	缪强	太原理工大学表面工程研究所	11	209	8.0	11.0