元胞自动机方法模拟硅的各向异性腐蚀研究

• 作者: 周再发 孙岳明 李伟华 王涓 黄庆安
• 来源期刊: 固体电子学研究与进展
• 学科: 工学
• 关键词: 元胞自动机 腐蚀模拟 微加工技术 微电子机械系统 各向异性腐蚀
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统
• 页码范围: 128-133
• 页数: 6页
• 分类号: TN40
• 字数: 3595字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3819.2006.01.029

摘要

随着计算机运算速度的提高及MEMS结构变得日渐复杂,元胞自动机(CA)方法逐渐在MEMS CAD方面显出优势.针对硅的各向异性腐蚀模拟,首先建立硅衬底表面元胞的腐蚀过程二维CA模型,然后推广为三维CA模型,从而建立了硅的各向异性腐蚀的连续CA模型.已有实验结果和理论分析证明了模型的效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙岳明	东南大学化学化工系	117	1074	17.0	25.0
2	王涓	东南大学化学化工系	5	71	2.0	5.0