波导光互连的研究进展

• 作者: 严蓉 刘辉 吴丰顺 姜雪飞 彭卫红 莫丽萍
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光互连 波导 微光镜 3D封装
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 311-314,319
• 分类号: TN25
• 字数: 2182字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2010.06.001

摘要

介绍了波导光互连的研究现状及发展趋势.波导光互连研究主要包括波导结构的成形、微反光镜的制作、功能结构的设计以及可靠性测试,应用前景广阔,是今后几年光互连技术的研究重点之一.然而波导光互连也面临着很大的挑战:廉价材料和工艺的选择,性能与可靠性的完善,互连密度的提高与可靠性的协调,3D封装以及标准化与产业化等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴丰顺		70	604	15.0	21.0
3	刘辉	华中科技大学材料成形及模具国家重点实验室	52	318	10.0	15.0
4	姜雪飞		19	60	4.0	6.0
5	彭卫红		30	80	6.0	7.0
8	莫丽萍		4	24	3.0	4.0
10	严蓉		1	11	1.0	1.0