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微细加工技术

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Microfabrication Technology

CSTPCD

《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。

主办单位：

中国电子科技集团公司第48研究所

期刊荣誉：

国家一级检索刊物用刊 美国工程信息公司Ei数据库收录

ISSN：

1003-8213

CN：

43-1140/TN

出版周期：

双月刊

邮编：

地址：

湖南省长沙市

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热门刊内文献

年度刊次

31. 碳纳米管在MEMS微电极中的应用研究

作者：侯中宇张亚非徐东蔡炳初魏星

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年2期

页码: 60-64

摘要：采用丝网印刷技术,将配制好的碳纳米管浆料涂敷到金属衬底上,形成碳纳米管薄膜,用四探针仪及表面轮廓仪分别测量了薄膜的方块电阻和表面粗糙度.结果表明,将碳纳米管球磨1 h,以质量比10%～12%...
32. 电子束光刻的快速邻近效应校正

作者：于肇贤宋会英张玉林郝慧娟

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年3期

页码: 1-5,64

摘要：提出了实现电子束光刻的快速邻近效应校正的分级模型.首先利用矩阵实现内部最大矩形和顶点矩形的快速替换,然后对内部最大矩形和顶点矩形进行校正迭代.在校正迭代的过程中,用局部曝光窗口与曝光强度分布...
33. 基于遗传算法的显影速率参数确定

作者：卢文娟张玉林郝慧娟魏强

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年3期

页码: 6-8,17

摘要：为了更精确地确定显影速率参数,采用基于遗传算法的最小二乘法对显影速率进行拟合,并与Gauss-Newton迭代法进行了比较.结果显示,基于遗传算法的拟合效果更佳,具有较强的鲁棒性,可以用于显...
34. GCA3600F图形发生器数据处理技术的改进与应用

作者：叶红陈宝钦

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年3期

页码: 9-12

摘要：为了进一步挖掘传统光学曝光的潜力、扩展其应用范围、提高其曝光效率,对GCA3600F光学图形发生器数据处理技术开展了研究,其中包括对曝光数据的优化处理技术以及复杂图形切割算法的研究,并编制了...
35. 浸没式ArF曝光过程中液体热性能分析

作者：李艳秋樊明哲

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年3期

页码: 13-17

摘要：浸没式ArF曝光系统在最后一面物镜和晶圆之间引入液体作为成像介质.曝光过程中,液体存在热分布变化,并引起液体折射率的改变,导致光刻性能下降,因此,有必要确定液体热分布变化的情况.应用有限元方...
36. 掩模移动曝光系统精密定位工件台研制

作者：余国彬佟军民胡松

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年3期

页码: 18-22

摘要：为满足掩模移动曝光技术制作微光学元件的要求,研制了接近式曝光系统中使用的x-y二维精密移动工件台.该工件台由x-y二维整体手动工作台子系统、x-y二维掩模精密移动台子系统和承片台子系统组成....
37. 采用激光制备毛细管电泳芯片微结构的研究

作者：刘世炳刘莹吴坚姚李英陈涛

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年3期

页码: 23-26

摘要：提出了一种采用248 nm准分子激光直写微加工系统制备聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基毛细管电泳芯片的新方法.主要对毛细管电泳芯片的样品池和微通道进行了实验研究.在19 kV,20 Hz,50...
38. 利用平滑层减小极紫外多层膜基底粗糙度的方法

作者：张立超金春水

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年3期

页码: 27-29,42

摘要：在极紫外多层膜反射镜中,基底高频粗糙度是影响多层膜反射率的重要因素.通过在粗糙基底上镀制平滑层薄膜,可以有效降低基底粗糙度.叙述了平滑层减小多层膜基底粗糙度的原理,研究了不同镀膜工艺条件下平...
39. 聚酰亚胺薄膜表面微纳米尺度下电荷特性的研究

作者：任权赵慧斌韩立

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年3期

页码: 30-33

摘要：利用静电力显微镜(electrostatic force microscope,EFM)在微纳米尺度下对聚酰亚胺薄膜表面的电荷起因及特性进行研究.采用Dimension 3100型扫描探针显...
40. 有机半导体薄膜层的图形化方法

作者：刘兴华刘明刘舸商立伟涂德钰甄丽娟

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年3期

页码: 34-38

摘要：对有机半导体层的图形化方法进行了详细介绍.对比分析了非传统有机半导体薄层的图形化方法和与传统光刻技术类似的有机层图形化方法,指出了各种方法的适用范围及其优缺点.
41. 光敏微晶玻璃微流控芯片材料制备

作者：李艳琼汪建华王传新王升高王涛程莉莉赵修建

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年3期

页码: 39-42

摘要：以具有良好的光化学加工性能的光敏微晶玻璃作为芯片材料对于简化微流控芯片制备工艺、降低芯片制备成本具有重要意义.基于这一点,利用XRD和SEM技术,研究了不同制备方法、不同玻璃组分对玻璃光化学...
42. 工艺参数对可逆示温微胶囊性能影响的研究

作者：乔吉超管萍胡小玲

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年3期

页码: 43-47

摘要：以乙基纤维素和聚乙烯为壳材料,热敏变色材料氯化钴为芯材料,Span80为乳化剂,采用油相分离法,对热敏变色材料氯化钴进行高分子材料包覆,制备了polyethylene/ethyl cellu...
43. 用于MEMS开关的低应力氮氧化硅桥膜

作者：侯智昊刘泽文张忠惠李志坚胡光伟

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年3期

页码: 48-53,59

摘要：给出了用于微机电(MEMS)开关悬浮桥的低应力氮氧化硅(SiOxNy)薄膜的制备工艺研究结果,分析了等离子增强化学气相淀积(PECVD)制备低应力薄膜的影响因素,通过改变反应气体(SiH4,...
44. 植入式双面柔性神经微电极制作方法的研究

作者：任秋实周洪波李刚赵建龙金庆辉

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年3期

页码: 54-59

摘要：为了减小植入损伤,提高神经微电极刺激或记录的空间密度,提出了一种基于聚合物基质材料的植入式双面柔性神经微电极的制作工艺和方法.该方法采用光敏型聚酰亚胺(Durimide 7510)作为微电极...
45. 硅微机械二维倾角传感器结构设计

作者：单建华孔德义林丙涛梅涛汪小华褚家如

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年3期

页码: 60-64

摘要：提出了一种结构简单,制造工艺容易实现的硅微机械二维倾角传感器结构设计,它由蝶形质量块和连接它们的四个成十字形的硅应变梁以及具有过载限位保护功能的硼硅玻璃衬底构成.传感器能同时检测出绕两轴的倾...
46. 基于MEMS的无阀泵研究进展

作者：冯志庆吴一辉白兰

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年4期

页码: 1-5,21

摘要：微流体控制系统是微机电集成系统(MEMS)一个主要分支,微泵作为微流体控制系统的重要组成部分,根据其有无阀片可分为有阀型微泵和无阀型微泵.无阀型微泵由于其结构相对简单、制造工艺要求不高,因而...
47. 电感耦合等离子体源的研究进展

作者：杨定宇蒋孟衡

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年4期

页码: 6-10

摘要：在简要回顾传统高密度等离子体源的基础上,重点介绍了新一代的低温高密度等离子体--电感耦合等离子体源(ICP)的放电机理,并结合最近的研究进展,系统分析了ICP的性能影响因素,总结了ICP目前...
48. 光刻结合热解制备高深宽比碳微结构的新方法

作者：史铁林姚园媛廖广兰汤自荣

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年4期

页码: 11-17

摘要：将以光刻胶作为有机前驱物的热解成碳工艺与厚胶光刻工艺结合后,形成一种新的用于制备碳微结构的"C-MEMS(carbon-MEMS)"工艺,它流程简单、成本低、可重复性强且结构设计灵活.该工艺...
49. 基于光刻版的无留膜紫外纳米压印技术研究

作者：丁玉成卢秉恒张亚军

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年4期

页码: 18-21

摘要：针对纳米压印光刻技术中压印脱模后的留膜去除问题,提出了一种基于光刻版的无留膜紫外纳米压印技术.采用传统的光刻版作为紫外压印模版,由于模版上铬层的遮蔽作用.使得铬层下面的光刻胶不被曝光,从而可...
50. 接近式光刻的角谱法仿真研究

作者：李晓光李木军沈连婠郑津津陈有梅

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年4期

页码: 22-26,46

摘要：在基于UV-LIGA 技术的大高宽比微细结构的加工技术中,接近式紫外光刻工艺会因衍射效应而使掩模图形在复制过程中产生图形失真,从而引起光刻胶结构的形状缺陷.对该衍射光场进行计算机仿真,预测光...
51. 评价任意面型微光学元件制作误差的方法

作者：张雨东杜春雷高洪涛

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年4期

页码: 27-29

摘要：提出一种可用于评价任意面型微光学元件制作误差的方法.利用泽尼克多项式描述微光学元件面型,针对元件检测过程中的旋转对准偏差,给出泽尼克系数随旋转角度的变化关系;以设计面型和实测面型之间的均方根...
52. 自动微分法求解粒子光学像差的精度分析

作者：李文萍顾文琪

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年4期

页码: 30-33,58

摘要：将自动微分算法扩展到实际非解析场时会出现误差,从算法原理和具体实现的过程中分析了误差的来源及其相应的减小措施,提出用高稳定性的三次样条曲线插值将数值求解的场解析成任意节点处的场及其各阶导数,...
53. 超磁致伸缩薄膜性能测试系统研究

作者：何滨宋祖殷章良

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年4期

页码: 34-38

摘要：针对超磁致伸缩薄膜制备过程中所关心的性能测试问题,提出了利用外加磁场引起薄膜变形,运用微位移传感器测试薄膜变形的新方法,以此为基础,建立了超磁致伸缩薄膜性能测试系统,并通过本系统测试比较了不...
54. 短讯

作者：

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年4期

页码: 38

摘要：
55. 精密工作台扰动观测器的设计

作者：朱煜李恒杨开明贾松涛

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年4期

页码: 39-42

摘要：针对直线电机驱动、气浮导轨支撑的精密工作台没有阻尼、抗扰性能差的特点,为了抑制各种线缆扰动和直线电机推力波动的影响,提高工作台的定位精度、减小轨迹跟踪误差,采用扰动观测方法,基于直线电机精密...
56. 准直碳纳米管的非均匀生长研究

作者：党纯王廷志

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年4期

页码: 43-46

摘要：用CH4,NH3 和H2 为反应气体,利用等离子体增强热丝化学气相沉积在沉积有Ta缓冲层和Ni催化剂层的Si衬底上制备了准直碳纳米管,并用扫描电子显微镜和透射电子显微镜对它们进行了研究.结果...
57. 电化学沉积Cu牺牲层工艺用于制备面外运动电热微驱动器

作者：丁桂甫张丹蔡豪刚

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年4期

页码: 47-49

摘要：用电化学沉积Cu作为牺牲层制备面外运动电热微驱动器的悬空结构,并建立了一种简单、可靠的牺牲层工艺技术.该工艺具有工艺流程简单、牺牲层易获取、释放简单、腐蚀选择性好、结构保存完整等优点.通过退...
58. 小量程、高灵敏度微压力传感器的优化设计

作者：刘本东李德胜种传波

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年4期

页码: 50-53,64

摘要：为了提高小量程微压力传感器的灵敏度,提出了一种新结构模型,通过理论分析,发现硅膜越薄,量程越小,灵敏度越高.并对此模型进行ANSYS应力仿真,发现在小量程负荷条件下,新结构模型应力峰值约为1...
59. 热振动法标定微悬臂梁法向弹性系数

作者：封玮左燕生林云生韩立

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年4期

页码: 54-58

摘要：微机械加工制造的微悬臂梁(探针)作为原子力显微镜中的核心组件,已经成为微米纳米尺度下科学研究的重要工具.能否准确标定微悬臂的弹性系数将影响所测力学量的最终结果.介绍了利用热噪声法标定探针的方...
60. 液体中微悬臂传感器共振检测技术的研究

作者：刘宁左燕生林云生韩立

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2007年4期

页码: 59-64

摘要：讨论了微悬臂生化传感器在动态模式下的工作原理,针对在液体环境中阻尼增大、微悬臂共振品质因素下降的问题,设计了一个正反馈电路,使得微悬臂在液体中能够稳定在其固有频率上自激振荡.从而简便地测出微...

微细加工技术基本信息

刊名	微细加工技术	主编
曾用名
主办单位	中国电子科技集团公司第48研究所	主管单位
出版周期	双月刊	语种	chi
ISSN	1003-8213	CN	43-1140/TN
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