微机械陀螺传感器模型与接口电路的混合模拟

• 作者: 熊斌 王跃林 车录锋 黄小振
• 来源期刊: 固体电子学研究与进展
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械陀螺 传感器模型 接口电路 模拟
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统
• 页码范围: 496-499
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 2651字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3819.2003.04.022

摘要

根据微机械陀螺的动力学方程建立了组合微机械陀螺振动特性和电学特性的传感器等效电路模型,并通过电路模拟工具PSPICE对模型进行验证.利用该模型与接口电路的混合模拟,可以分析陀螺整个系统的工作性能.模拟分析的结果验证了该模型可以应用于微机械陀螺接口电路的设计和优化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊斌	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	54	412	11.0	16.0
2	王跃林	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	84	623	14.0	18.0
3	车录锋	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	38	363	11.0	16.0
4	黄小振	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	6	71	5.0	6.0