毫米波串联接触式RF MEMS开关的设计与制造

• 作者: 侯智昊 朱健 朱锋 郁元卫
• 来源期刊: 固体电子学研究与进展
• 学科: 工学
• 关键词: 射频微机电系统开关 串联接触式 毫米波
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 射频与微波
• 页码范围: 141-144
• 分类号: TH703|TN63
• 字数: 1320字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3819.2012.02.009

摘要

设计了一种应用于毫米波波段的串联接触式RF MEMS开关.为了在毫米波波段获得较高的隔离度,通过使用短截线结构,以降低输入输出端口的耦合电容.为了获得可靠的金属接触,设计了一种改进型的“蟹形”桥结构.测试结果显示,在30 GHz,插入损耗为-0.3dB,隔离度为-20 dB.在DC～40 GHz的频率范围内,插入损耗优于-0.5 dB,隔离度优于-20 dB.所设计的串联接触式RF MEMS开关,可应用于20～40 GHz的频率范围内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱健		43	318	11.0	16.0
3	朱锋		6	15	2.0	3.0
6	郁元卫		20	101	6.0	9.0
9	侯智昊		3	14	2.0	3.0