〈100〉正面开口快速湿法腐蚀释放悬浮结构的研究

• 作者: 李劲松 梁培 马铁英
• 来源期刊: 固体电子学研究与进展
• 学科: 工学
• 关键词: 正面腐蚀 悬浮结构 各向异性
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳米技术
• 页码范围: 58-63
• 分类号: TN215
• 字数: 2243字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3819.2012.01.013

摘要

设计了三种正向开口方式为〈100〉向折线型、长条型、长短条复合型的悬浮膜系.在水浴温度80℃条件下,120 min后,〈100〉开口膜系由50％ KOH溶液各向异性腐蚀快速释放成形,获得完整无粘连的悬浮结构.在〈100〉快速腐蚀释放原理基础上,制备了基于〈100〉开口的测辐射热计与红外热电堆悬浮单元结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李劲松		24	68	5.0	7.0
2	梁培		44	233	9.0	14.0
3	马铁英		6	9	2.0	2.0