提升铜微电铸均匀性的方法研究

• 作者: 卢茜 吕英飞 张剑 束平
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电铸 均匀性 有限元分析
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 微系统技术
• 页码范围: 204-206
• 页数: 3页
• 分类号: TN60
• 字数: 1823字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14176/j.issn.1001-3474.2019.04.005

摘要

微电铸技术是一种金属微结构制备技术.与普通的机械加工相比,微电铸的加工精度更高,能够制备μm级精细结构.然而,在进行大面积铜电铸时,阴极区域不同位置电流密度分布不均匀,会产生明显的电铸厚度差异.借助有限元分析技术,提出一种提升金属铜微电铸均匀性的方法,通过在目标图形外围添加电流收集环来改变阴极电流分配密度,从而提升电铸均匀性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张剑	中国电子科技集团公司第二十九研究所	25	71	6.0	7.0
2	束平	中国电子科技集团公司第二十九研究所	6	18	3.0	4.0
3	卢茜	中国电子科技集团公司第二十九研究所	9	14	2.0	3.0
4	吕英飞	中国电子科技集团公司第二十九研究所	3	1	1.0	1.0