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微细加工技术2002年出版文献
出版文献量（篇）
672
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微细加工技术
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Microfabrication Technology
《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
主办单位：
中国电子科技集团公司第48研究所
期刊荣誉：
国家一级检索刊物用刊
美国工程信息公司Ei数据库收录
ISSN：
1003-8213
CN：
43-1140/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
地址：
出版文献量（篇）
672
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2
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 建立一个更为严格地描述电子散射过程的物理模型,运用Monte Carlo方法模拟高斯分布电子束在靶体PMMA-衬底中的散射过程,研究不同曝光条件对沉积能密度的影响,获得的沉积能分布规律是:有...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 模拟了散射电子在PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)电子束胶层中的能量沉积分布.在处理电子穿越衬底的边界时,采用了几率确定法,用以判断电子是否在界面处发生一次弹性散射.并完成了散射电子在电子束胶层中...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 介绍电子束缩小投影曝光机对准系统的构成及原理,阐述数字处理技术在对准系统中的应用,以及对准数据的产生及数字处理的软件设计,并给出实际测试结果.
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年1期页码:摘要： I线光致抗蚀剂可以同时实用电子束和光学系统曝光,在50kV加速电压下,其曝光剂量为50～100μC/cm2,曝光后在0.7%NaOH溶液内显影1分钟.其灵敏度比PMMA快5倍,分辨率为0.5...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 着重介绍了改善钢表面摩擦学特性的方法和提高离子束加工效率的途径.这项金属离子注入技术在工业生产发展中正发挥着重要的作用,并阐述了MEWA离子注入新技术在工业化应用中的特点.
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6. 光瞳滤波投影光刻实验研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 介绍了一套自行研制的用于光瞳滤波实验的投影光刻实验系统,其物镜光瞳处预留出放滤波器的位置,可方便取放滤波器.在理论分析的基础上,开展了光刻对比实验研究,实验研究结果表明,光瞳滤波能大幅度提高...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年1期页码:摘要： SU-8胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶,它适于超厚、高深宽比的MEMS微结构制造.但SU-8胶对工艺参数很敏感.采用正交试验设计方法对其工艺进行分析.采用三个因素进行试验,对试验进...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 采用新电极结构的PECVD技术,在高功率密度、高氢稀释比、低温、偏压及低反应气压的条件下,在SiO2玻璃表面形成双等离子流,增加了SiO2表面SiC的成核几率,增强成核作用,形成纳米晶.采用...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 采用射频磁控溅射技术制备了Ge-SiO2薄膜,在N2气氛下进行300℃到1000℃的退火处理30分钟,对样品进行XPS分析,研究了在不同退火温度下薄膜样品的成分与化学状态,为进一步探讨薄膜的...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 应用磁镜像法和快速傅立叶变换(FFT)法对单片微波集成电路(MMIC)的薄膜平面射频集成电感器进行了电磁学模拟,并把模拟结果和有限元法(FEM)模拟的结果[1]进行了比较.根据模拟结果,对薄...
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11. 微型电磁驱动器中微小电磁力的研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 设计了一种应用于微机电系统中的微型电磁驱动器.该微驱动器主要由平面正方形线圈、弹性支撑和坡莫合金薄片构成.采用微细加工技术成功地制作出了这种微驱动器.该驱动器具有较大的驱动力和行程,适用于在...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 微结构气敏传感器由于其微型化、低功耗、易阵列化和易批量生产等优点而受到国内外研究者的广泛关注.利用微机电系统(MEMS)加工技术,制备Si基膜片型微结构单元,并分析其热学性能.这种单元工作区...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 一种用形状记忆合金薄膜驱动的新型微泵已经研制成功.为了进一步提高微泵性能,研究了微泵在不同驱动条件下的动态特性.结果表明,随着驱动电流和频率的增加,驱动膜有一个最大的位移值.占空比对最大位移...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 采用微细加工的方法研制出了一种可调式微机械光衰减器,对该衰减器的性能进行了测试,并对影响其光学性能的因素作了分析.测试表明,该衰减器的插入损耗＜3dB,衰减范围0～40dB,回波损耗＜-45...
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15. 微机械自润滑材料的摩擦性能研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 研究了Ni-MoS2自润滑层在不同工艺条件下的结构特征、形貌,并分析其摩擦特性,发现润滑层表面粗糙度和厚度对摩擦系数影响较大;即使MoS2含量较少,Ni-MoS2复合镀层的极限剪切模量也比金...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 微光开关是新一代全光通信网络中的关键器件.利用微细加工技术制造微光开关具有很多突出的优点,受到广泛的研究.总结了几种典型的微光开关制造中运用的微细加工技术,并介绍了它们的应用和相应的特点.
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 首先介绍了稳定FEA电子发射均匀性和可靠性的几种结构,然后提出了以离子注入和干法刻蚀技术,在常规电阻率P型衬底上制成具有串联电阻负反馈特性的单片硅FEA.这些设计和工艺可供研究人员在设计具体...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： PREVAIL作为下一代电子束投影曝光技术,采用可变轴浸没透镜,对以硅为支架的碳化硅薄膜进行投影微缩曝光.在1mm2子场的情况下,运用步进扫描曝光方式,在100nm临界尺寸下具有较高的产量,...
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19. 基于RP技术的三维微细加工刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 介绍了快速成型技术及其研究方向,在研究微机电系统与微细加工技术的基础上,对比分析了一些基于快速成型技术的微细加工方法的优缺点及最新研究成果.并且结合我们目前所进行的激光化学液相沉积快速成型技...
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20. ZrO/W肖特基发射阴极的研制刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 研制成功了一种实用的低功函数肖特基发射阴极-锆/钨(ZrO/W)阴极.这种阴极是在改进的电解腐蚀法制成的W单晶尖端表面,采用特别的涂覆法或蒸镀法,形成含ZrO膜层,并经特殊处理后得到的.实验...
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21. 复杂微光刻图形版图设计系统刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 介绍了一种自主开发的复杂微光刻图形版图绘制系统.该系统能根据用户的要求自动成组地批处理各种圆环、螺旋线、椭圆环、扇形、条形码等图形,以及根据用户输入的任意表达式来生成特殊形状图形,同时它具有...
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22. 操纵原子束的激光系统研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 重点分析了操纵原子束进行纳米结构加工中激光系统的设计特点,包括激光器件的选择、发射功率与激光波长等参数的确定.用其结论设计出了焦距193.3mm,F/#=1.9,λ=0.67μm的扩束准直光...
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23. 准单色亚稳态氦原子束源系统研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 研究设计了一种亚稳态氦原子束源系统.采用电子激发方法产生亚稳态氦原子,利用喷嘴经等熵澎胀形成原子束,通过对该原子束的纵向速度进行选择,以及利用激光冷却来实现横向准直,制备出准单色亚稳态氦原子...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： SU-8胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶.它适于制作超厚、高深宽比的MEMS微结构.为电铸出金属微结构,通常需要采用金属基底.但SU-8胶对金属基底的结合力通常不好,因而限制了其深宽...
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25. 反应溅射中的溅射产额研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 分析了溅射产额的影响因素,并建立了产额模型.该模型能反映各种宏观工艺参数,便于工程应用.对钛靶的计算结果表明与实验结果相符.
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26. 等离子体横向刻蚀硅的特性研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 研究了用SiO2+Al作掩模,SF6+O2混合气体等离子体对Si的横向刻蚀,其结果表明,在SF6+O2等离子体气氛中,Al是很好的保护膜,可以在待悬浮器件下形成大的开孔.因此,预计用这种技术...
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27. 超精密定位工作台刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 在许多高技术领域需要超精密工作台作为其技术支持.就电磁式工作台、直线电机式工作台、压电式工作台、摩擦驱动式工作台、MEMS工作台和其它类型工作台的原理、性能和应用作了介绍.并分析了它们各自的...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 利用多孔硅形成的选择性,在指定的硅衬底区域制作多孔硅作牺牲层.提出了先制作微结构,后进行阳极氧化,形成多孔硅牺牲层的工艺,由此制备出了良好的悬空结构,并对多孔硅形成的选择性、掩模材料和工艺条...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： MEMS螺线管型电感器由于具有很多优点,其用途或潜在用途相当广泛.为了获得高质量的MEMS螺线管型电感器,在充分利用SU-8特点的基础上,结合使用正胶AZ-4000系列和负胶SU-8系列,新...
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30. 基于硅结构的微流体控制系统刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 基于硅结构的微流体控制系统(μFCs)是微机电系统(MEMS)中的一个重要分支,可广泛用于生物、医学、化工、电子等领域.主要综述了微流体控制系统中的微流体传感器、微型泵、微型阀的工作结构原理...
微细加工技术基本信息
| 刊名 | 微细加工技术 | 主编 | |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第48研究所 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1003-8213 | CN | 43-1140/TN |
| 邮编 | 电子邮箱 | ||
| 电话 | 网址 | ||
| 地址 | 湖南省长沙市 |
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