论文降重
免费查重
出版文献量（篇）
2692
总下载数（次）
3
总被引数（次）
12898
真空
分享
投稿
本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
出版文献量（篇）
2692
总下载数（次）
3
总被引数（次）
12898
分享
文章浏览
目录
-
91. 变容真空泵真空度的测量与误差分析刊名： 真空发表期刊： 2010年4期页码:摘要： 本文叙述了当前变容泵的真空度测量中所使用的主要仪器,测量过程中产生的测鼍误差,通过对比试验分析误差产生的原因和在实际工作中必须注意的问题.本文给出的分析结果和可行性方案对真空厂家和用户在实际...
-
92. 涡轮分子泵叶片的结构设计与分析刊名： 真空发表期刊： 2010年4期页码:摘要： 涡轮分子泵是一种精密高速旋转机械,在设计过程中对主轴、转子等关键件的设计作科学准确的计算、校核尤为重要.文章阐述了借助PRO/E、PRO/MECHANICA软件(试用版)对涡轮分子泵的涡轮叶...
-
93. DL-10型石英真空计的性能刊名： 真空发表期刊： 2010年4期页码:摘要： 本文叙述了DL-10型石英真空计的研制结果,它用Ф2×6型音叉状石英晶振作为压强传感器.该真空计测量范围是10～105Pa,误差约10%.石英真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与气体压强有关的性...
-
94. 基于碳纳米管长线场发射的真空测量刊名： 真空发表期刊： 2010年4期页码:摘要： 利用碳纳米管的场发射性质,研制了一种新型的真空测量装置.该装置采用了电离规的测量原理,它由碳纳米管阴极、阳极和收集极组成,通过测量离子流与电子流的比值来指示真空度.其中的碳纳米管阴极由碳纳米...
-
刊名： 真空发表期刊： 2010年4期页码:摘要： 论文基于HT-7和EAST装置上使用SRS-200四极质谱仪的功能不能满足实验要求,利用LabVIEW软件重新开发设计了残余气体测量控制系统.实现用外置PKR251真空计测量总压强的同时实时...
-
刊名： 真空发表期刊： 2010年4期页码:摘要： 本文采用Particle-in-cell模型对采用电感等离子体离子注入处理管内表面的动力学过程进行数值仿真研究,考察了电感线宽对管内电势分布、鞘层重叠、离子平均注入能量、剂量和角度等的影响....
-
97. 充氟油器件检漏设备的研制刊名： 真空发表期刊： 2010年4期页码:摘要： 针对充氟油器件泄漏介质为氟抽的检漏需求,研制了一套四极质谱计检漏设备,该设备由四极质谱计和取样系统组成,使用累积法对充氟油器件进行检漏.文中介绍了系统的组成与原理,设备的校准,给出并讨论了实...
-
98. 聚变等离子体鞘层能量传输系数分析刊名： 真空发表期刊： 2010年4期页码:摘要： 对于磁约束聚变装置来说,可以用离子和电子的鞘层能量传输系数来预测和计算到达面向等离子体部件(PFC)的等离子体能量通量.文章推导并详细分析了悬浮态和非悬浮态的等离子体鞘层区域能量传输系数关系...
-
刊名： 真空发表期刊： 2010年4期页码:摘要： 根据煤炭工业的发展现状,分析了瓦斯气体引起的安全问题的几个方面和其利用前景,介绍了真空设备在该行业的成熟应用和潜在应用,提出了在煤炭安全生产上应用真空抽气设备,能够适应安全需求,符合国家的循...
-
100. 真空技术在真空排污系统中的应用刊名： 真空发表期刊： 2010年4期页码:摘要： 真空排污系统是利用负压管道中的负压梯度将用户处排放的污水逐步输送、收集至真空站后集中处理及排放的污水收集系统.综述了真空排污系统的分类及适用范围,真空的获得及真空检漏测试的标准.介绍了真空排...
-
101. 上海光源真空波荡器的特殊真空问题刊名： 真空发表期刊： 2010年4期页码:摘要： 上海光源(SSRF)在国内首次成功研制了两台真空波荡器IVU25B.真空波荡器产生了一些特殊的真空问题,它们影响到IVU25B的三个主要性能指标--磁场、阻抗和真空度.本文描述了解决这些特殊...
-
刊名： 真空发表期刊： 2010年4期页码:摘要： 介绍了在低温容器上最新应用的两种高真空多层绝热结构,发表了新型多层绝热结构与传统多层绝热结构的导热率试验测试比较数据.详细介绍了新结构所应用的材料及排列组合方法,其导热率可低于0.4W/m2...
-
103. 第十六讲真空系统的操作与维护刊名： 真空发表期刊： 2010年4期页码:摘要：
-
刊名： 真空发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 采用直流磁控溅射法制备了掺钨氧化铟(IWO)透明导电薄膜.研究了薄膜结构、表面形貌、光学和电学性能与各种制备参数之间的依赖关系.X射线衍射(XRD)谱分析结果表明随着基底温度的升高,薄膜的结...
-
刊名： 真空发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 采用电弧离子镀技术(AIP)在NiCrAlY涂层与镍基高温合金(DD3合金)之间沉积TiC薄膜作为扩散障层,研究了TiC对NiCrAlY涂层与基体的元素互扩散的阻碍作用和对涂层氧化动力曲线的...
-
刊名： 真空发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)是制备高品质金刚石膜的重要方法,而MPCVD技术的关键是其设备核心部件谐振腔的设计.本文基于目前广泛应用的圆柱式和椭球式两种MPCVD谐振腔中微波传输...
-
刊名： 真空发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 利用直流反应磁控溅射技术,在玻璃衬底上制备了氧化银薄膜.X射线衍射和扫描电子显微镜表明制备的氧化银薄膜主要由Ag和Ag2O组成,具有疏松、多孔的表面特征.制备的氧化银薄膜经过5 min光快速...
-
刊名： 真空发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 在众多有关CIGS薄膜的制备实验条件中,温度是影响薄膜生长的重要因素之一.实验利用三步共蒸法在常温下沉积CIGS薄膜,而后对每一步制得的预制膜真空退火处理,系统研究了预置层退火温度对CIGS...
-
109. Mg掺杂ZnO薄膜的结构及其光学性能研究刊名： 真空发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 利用射频磁控溅射技术在(100)Si和玻璃衬底上沉积系列Mg掺杂ZnO(x=0～0.20)薄膜,XRD分析结果表明,Zn1-xMgO薄膜均为六角纤锌矿结构,薄膜呈现出 c轴择优生长特性,但随...
-
刊名： 真空发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 通过激活能测试装置测量VHF-PECVD高速沉积的本征微晶硅薄膜,并对不同沉积功率、不同沉积压强条件下沉积制备的样品的激活能进行了分析研究.结果表明:在不同功率、不同气压沉积条件下沉积的微晶...
-
111. 信息动态刊名： 真空发表期刊： 2010年5期页码:摘要：
-
112. 绒面ZAO透明导电膜的制备工艺研究刊名： 真空发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 绒面ZAO(ZnO:Al氧化锌铝)透明导电膜在硅基薄膜太阳能电池领域应用前景广阔,本文利用直流磁控溅射方法,采用氧化锌铝陶瓷靶材制备了ZAO透明导电膜,并用自制的腐蚀液对膜层进行腐蚀以便形成...
-
刊名： 真空发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)在室温下制备了ZrB2、WNx和一系列ZrB2/WNx纳米多层膜,利用XRD、SEM、XP-2台阶仪、纳米力学测试系统表征了薄膜的微结构和机械性能...
-
刊名： 真空发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 采用直流热阴极等离子体化学气相沉积(PCVD)技术,在CH4:H2中加入N2改变等离子体能量分布状态,提高二次形核比例,制备纳米金刚石膜.在CH4:H2气体中,在不同压力和温度下,改变通入N...
-
刊名： 真空发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 气体传感器的应用越来越广泛,对气敏材料的研究也越来越深入.磁控溅射法是生产气敏薄膜的一种主要方法,本文重点介绍了用磁控溅射法制备的几种金属氧化物薄膜(SnO2、WO3、ZnO、TiO2、In...
-
116. Al2O3:Ce3+薄膜发光特性研究刊名： 真空发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 用中频反应磁控溅射技术制备了Al2O3:Ce3+的非晶薄膜.这些薄膜的光致发光峰是在370～395 nm之间,它来自于Ce3+离子的5d'激发态向基态4f1的两个劈裂能级的跃迁.发光强度依赖...
-
117. 氟化类金刚石薄膜介电性能研究刊名： 真空发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 采用射频等离子体增强化学气相沉积法制备了氟化类金刚石薄膜.利用俄歇电子能谱、绝缘电阻测试仪、耐压测试仪和QS电桥对样品组分和介电性能进行了表征、分析.结果表明:薄膜的介电常数εr在2.07～...
-
刊名： 真空发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 本文采用VHF-PECVD技术制备了两个不同硅烷浓度(SC)系列的微晶硅薄膜,通过椭圆偏振技术研究了微晶硅薄膜的微结构和表面粗糙度随沉积时间的变化.实验结果表明:随着薄膜厚度的增加,两个系列...
-
119. 行星夹具膜厚均匀性分析刊名： 真空发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 利用数学理论模型对平面行星夹具进行膜厚分布分析;然后采用电子束蒸发技术,以常用的Ta2O5和SiO2作为镀膜材料,在该行星夹具上分别沉积一定厚度的Ta2O5和SiO2单层膜,通过对光谱曲线的...
-
120. 罗茨真空泵运行可靠性指标考核探讨刊名： 真空发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 目前罗茨真空泵验收规范中采用零流量压缩比和最大允许压差来考核罗茨真空泵的性能.本文作者根据实际应用及可操作性,建议采用零流量压缩比和罗茨真空泵的排气口气体温度考核罗茨真空泵的性能.由于零流量...
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
真空统计分析
被引趋势
(/次)
(/年)
学科分布
研究主题
推荐期刊
- 期刊分类
- 最新期刊
- 期刊推荐
- 相关期刊
一般工业技术
交通运输
军事科技
冶金工业
动力工程
化学工业
原子能技术
大学学报
建筑科学
无线电电子学与电信技术
机械与仪表工业
水利工程
环境科学与安全科学
电工技术
石油与天然气工业
矿业工程
自动化技术与计算机技术
航空航天
轻工业与手工业
金属学与金属工艺
北京勘察设计
爆破
巴蜀质量跟踪
包装工程
包装世界
包装与设计
材料保护
材料导报
材料工程
材料开发与应用
材料科学技术(英文版)
材料科学与工程学报
材料科学与工艺
材料研究学报
CT理论与应用研究
磁性材料及器件
影视制作
低温工程
低温与超导
低温与特气
大众标准化
复合材料学报
福建分析测试
福建质量管理
福建质量技术监督
