微压印光刻的模具制作工艺研究

• 作者: 丁玉成 卢秉恒 李寒松 李涤尘 秦旭光
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 压印光刻, 硅橡胶 有机玻璃 模具 复型
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 新工艺新技术
• 页码范围: 207-209
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.2
• 字数: 1757字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2003.05.007

摘要

从模具材料研究模具制作工艺问题,通过实验研究,对比分析了有机玻璃模具和硅橡胶模具制作工艺.实验表明,可以复制出特征尺寸为0.35 μm和 0.1 μm的有机玻璃模具和硅橡胶模具,均具有很高的复型精度.由于硅橡胶模具制作工艺在复型精度、复型精度稳定性和制作速度上均优于有机玻璃模具,且缺陷密度低于有机玻璃模具.因此,选用基于高复型精度软硅橡胶模具的软压印光刻工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李涤尘	西安交通大学先进制造技术研究所	322	3761	29.0	47.0
2	卢秉恒	西安交通大学先进制造技术研究所	387	5973	36.0	56.0
3	丁玉成	西安交通大学先进制造技术研究所	128	1941	23.0	39.0
4	李寒松	西安交通大学先进制造技术研究所	11	104	6.0	10.0
5	秦旭光	西安交通大学先进制造技术研究所	2	11	2.0	2.0