薄膜混合电路中有机薄膜厚度的快速测定

• 作者: 王从香
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: FT-IR 薄膜微波电路 光刻胶 厚度
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: SMT/PCB
• 页码范围: 112-114
• 页数: 3页
• 分类号: TN4
• 字数: 1338字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2004.03.006

摘要

介绍了一种无损、快速、准确测定有机薄膜厚度的新方法-FT-IR反射-干涉光谱法.对测厚的原理进行了分析,将此方法用于薄膜微波电路生产中光刻胶和聚酰亚胺厚度的测定,并与传统的用台阶仪测厚方法进行比较. FT-IR反射-干涉光谱法更方便、快捷、更准确,避免了光刻的过程和光刻显影过程中显影液对膜厚的减损,以及台阶测厚仪本身可能造成的测量误差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王从香		14	35	5.0	5.0