LTCC工艺自动切片技术

• 作者: 冯哲 吕琴红 姬臻杰 王海珍
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 切片技术 LTCC工艺 生瓷带
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 新工艺新技术
• 页码范围: 45-47
• 分类号: TN605
• 字数: 2023字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2011.01.012

摘要

切片是LTCC工艺中的生瓷片流延后的第一道工艺,切片技术的好坏直接影响到后续工艺,其关键点在于其切刀与生瓷片定位技术.在介绍LTCC切片工艺的基础上,重点讨论了切片技术中的关键切刀部分的技术特点、材料特性、工艺过程和工艺控制,并分析了解决办法,介绍了该工艺在近期的应用和发展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯哲	中国电子科技集团公司第二研究所	6	19	4.0	4.0
2	王海珍	中国电子科技集团公司第二研究所	8	19	3.0	3.0
3	吕琴红	中国电子科技集团公司第二研究所	10	85	5.0	9.0
4	姬臻杰	中国电子科技集团公司第二研究所	3	8	2.0	2.0