杜洛埃有机介质上集成薄膜电阻工艺研究

• 作者: 秦跃利 谢飞 高能武
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 杜洛埃材料 薄膜 集成电阻
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 微组装 SM T PC B
• 页码范围: 94-96,101
• 页数: 4页
• 分类号: TN44
• 字数: 2339字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14176/j.issn.1001-3474.2015.02.009

摘要

杜洛埃有机介质广泛应用于高频微波集成电路，由于材料表面固有特性而增加了集成薄膜电阻的难度。通过改变杜洛埃介质表面的形貌获得良好的平滑表面，并采用薄膜电路制造工艺，实现了在无铜箔的杜洛埃介质上制作微波混合集成电路。已成功实现了功分器、微波天线等产品的制作。对集成薄膜电阻的性能进行了详细工艺分析和讨论。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦跃利		6	11	2.0	3.0
2	高能武		3	8	2.0	2.0
3	谢飞		3	8	2.0	2.0