电磁辅助纳米压印

• 作者: 段智勇 罗康
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米压印 气压辅助压印 静电辅助压印 Ansys
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 132-134,140
• 分类号: TN305
• 字数: 1451字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2010.03.003

摘要

纳米压印技术是最近十几年提出的新的图形转移技术,此技术有产量高、成本低和工艺简单的优点,因此得到了飞速的发展.传统的纳米技术有热塑纳米压印技术、紫外固化纳米压印技术和微接触纳米压印技术.近几年又出现了纳米压印技术的新方法,如金属薄膜直写技术、滚轴式纳米压印技术、气压辅助纳米压印技术和静电辅助纳米压印技术.主要介绍利用静电辅助压印技术和气压辅助纳米压印技术相结合的一种新型纳米压印方法,并利用仿真软件Ansys进行仿真,通过仿真实验和理论研究,证明此方法是可行的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	段智勇		37	286	10.0	15.0
2	罗康		3	47	3.0	3.0