视觉系统在硅片检测上的应用

• 作者: 卫晓冲 庞师军 田娜
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅片 检测 视觉系统
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 303-305
• 分类号: TN873
• 字数: 2176字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2010.05.015

摘要

机器视觉是利用机器代替人眼来做各种测量和判断.介绍了全自动硅片装片机中利用视觉系统对硅片的边缘进行检测,在线将有缺陷的硅片剔除,将完好的硅片送入下一个环节.大大降低了人工强度和碎片率,减少了人工与硅片的接触,避免了人为因素对硅片的污染,有效地提高了成品率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卫晓冲	中国电子科技集团公司第二研究所	4	3	1.0	1.0
2	田娜	中国电子科技集团公司第二研究所	3	4	1.0	1.0
3	庞师军	中国电子科技集团公司第二研究所	1	2	1.0	1.0