微电子机械系统及硅微机械加工工艺

• 作者: 洪永强 蒋红霞
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 体微加工 表面微加工 LIGA
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 185-188
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 4892字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2003.05.001

摘要

微电子机械系统(MEMS)是一项21世纪可以广泛应用的新兴技术.硅微机械加工工艺是近年来随着集成电路工艺发展起来的MEMS主流技术.介绍了MEMS的特点、国内外MEMS的发展现状,讨论了MEMS的三种加工方法,着重探讨了硅微机械加工中常用的腐蚀、键合、光刻、氧化、扩散、溅射等工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	洪永强		41	192	6.0	12.0
2	蒋红霞		3	92	2.0	3.0