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高纯半绝缘4H-SiC单晶研究进展
半导体材料
高纯半绝缘
4H-SiC单晶
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物理气相传输法
半绝缘
高品质6英寸N型4 H-SiC单晶生长研究
PVT法
6英寸N型4H-SiC
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晶体品质
PVT法制备4英寸碳化硅单晶研究
4英寸
碳化硅
横向延展
计算机模拟
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 15.24 cm(6英寸)高纯半绝缘4H-SiC单晶生长
来源期刊 电子工艺技术 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2016,(5) 所属期刊栏目 新工艺 新技术
研究方向 页码范围 305-306
页数 2页 分类号 TN304
字数 1206字 语种 中文
DOI 10.14176/j.issn.1001-3474.2016.05.017
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 李斌 中国电子科技集团公司第二研究所 89 251 10.0 12.0
2 徐伟 中国电子科技集团公司第二研究所 50 146 6.0 9.0
3 王英民 中国电子科技集团公司第二研究所 18 53 5.0 6.0
4 魏汝省 中国电子科技集团公司第二研究所 6 5 2.0 2.0
5 张磊 中国电子科技集团公司第二研究所 46 76 4.0 7.0
6 王利忠 中国电子科技集团公司第二研究所 6 11 2.0 3.0
7 范云 中国电子科技集团公司第二研究所 2 2 1.0 1.0
传播情况
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引文网络
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
电子工艺技术
双月刊
1001-3474
14-1136/TN
大16开
太原市115信箱
22-52
1980
chi
出版文献量(篇)
2306
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10
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