N型4H-SiC表面改性及性能研究

• 作者: 侯晓蕊 张世伟 李斌 王利忠 王英民 魏汝省
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: N型碳化硅 表面改性 性能表征
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 新工艺 新技术
• 页码范围: 237-240
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 1915字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14176/j.issn.1001-3474.2019.04.015

摘要

研究了在N型4H-SiC的表面上引入炔基来提高表面的固定密度和稳定性的方法.炔基的引入可以为DNA探针在碳化硅表面固定做好铺垫,从而改善碳化硅表面生物活性,为制备碳化硅基生物传感器具有一定指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王利忠		1	0	0.0	0.0
2	李斌		1	0	0.0	0.0
3	王英民		1	0	0.0	0.0
4	魏汝省		1	0	0.0	0.0
5	侯晓蕊		1	0	0.0	0.0
6	张世伟		1	0	0.0	0.0