半导体技术期刊
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半导体技术

Semiconductor Technology

CAJSTAJSACSTPCD

影响因子 0.3579
《半导体技术》是由信息产业部主管,中国半导体行业协会、半导体专业情报网、中电科技集团公司十三所主办,业内权威的国家一级刊物之一。1976年创刊,它以严谨风格,权威著述,在业内深孚众望,享誉中外,对我国半导体事业的发展发挥了积极作用。“向读者提供更好资讯,为客户开拓更大市场”,是《半导体技术》的追求,本刊一如既往地坚持客户至上,服务第一,竭诚向读者提供多元化的信息。 《半导体技术》是中文核心... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
中国学术期刊光盘版《CAJ-CD》执行优秀期刊奖(03)  中国科技论文统计用刊  中文核心期刊 
ISSN:
1003-353X
CN:
13-1109/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄179信箱46分箱
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  • 作者: 乔丽萍 杨振宇 靳钊
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年4期
    页码:  259-263,299
    摘要: 提出了一种符合ISO/IEC 18000-6C协议中关于时序规定的射频识别(RFID)无源标签芯片低功耗数字基带处理器的设计.基于采用模拟前端反向散射链路频率(BLF)时钟的方案,将BLF的...
  • 作者: 孙毛毛 甘明富
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年4期
    页码:  264-268
    摘要: 设计并实现了一种高速大电流的开关驱动器,可用于驱动PIN开关以及IGBT开关等.开展了系统结构、电路和版图技术研究,并采用亚微米CMOS标准工艺进行设计和制造.通过采用一种带隙基准结构提供偏...
  • 作者: 孙磊 李志国 潘亮
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年4期
    页码:  269-274
    摘要: 双界面智能卡芯片静电放电(ESD)可靠性的关键是模拟前端(AFE)模块的ESD可靠性设计,如果按照代工厂发布的ESD设计规则设计,AFE模块的版图面积将非常大.针对双界面智能卡芯片AFE电路...
  • 作者: 冯志红 刘晨 吕元杰 宋旭波 房玉龙 韩婷婷 魏碧华
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年4期
    页码:  275-278,299
    摘要: 研制了高电流增益截止频率(fT)的InAlN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT).采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)再生长n+GaN非合金欧姆接触工艺将器件源漏间距缩小至600 nm,...
  • 作者: 何先良 周国 孙希国 崔玉兴 杜光伟 谭永亮
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年4期
    页码:  279-282,320
    摘要: 采用在发射区台面腐蚀时保留InGaP钝化层和去除InGaP钝化层的方法制备了两种InGaP/GaAs异质结双极晶体管(HBT)器件,研究了InGaP钝化层对HBT器件基区表面电流复合以及器件...
  • 作者: 侯朝昭 姚佳欣 殷华湘
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年4期
    页码:  283-292
    摘要: 对目前垂直纳米线晶体管的制备技术进行了综述.首先根据器件结构取向介绍了纳米线晶体管的分类,即水平纳米线晶体管和垂直纳米线晶体管,比较了这两类不同结构晶体管的优缺点,阐述了垂直纳米线晶体管的优...
  • 作者: 张双翔 王宇 肖和平 郭冠军 马祥柱
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年4期
    页码:  293-299
    摘要: 采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)制备了GaAs基A1GaInP发光二极管(LED),其中在p-GaP上制作Au/AuBe/Au接触电极,经不同温度快速热退火后,使用扫描电子显微镜(SE...
  • 作者: 于浩 尹顺正 张宇 赵润 车相辉 郝文嘉 陈宏泰 齐利芳
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年4期
    页码:  300-304
    摘要: 锌(Zn)扩散是制作InP基光电探测器(PD)的重要工艺过程.分析了锌扩散的机制,利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)设备对InP基PD及雪崩光电探测器(APD)材料进行了锌扩散,由于MO...
  • 作者: 孙钦钦 林抒毅 汪涵聪 谢文明 陈炳煌 黄诗浩
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年4期
    页码:  305-309
    摘要: 绝缘体上张应变锗材料是通过能带工程提高锗材料光电性能得到的一种新型半导体材料,在微电子和光电子领域具有重要的应用前景.采用微电子技术中的图形加工方法以及利用锗浓缩的技术原理,在绝缘体上硅(S...
  • 作者: 季兴桥 来晋明
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年4期
    页码:  310-314
    摘要: 金刚石铜具有高导热率和低膨胀系数,可用于大功率芯片的散热热沉.未做处理的金刚石表面非常光滑,不易附着其他金属,由于金刚石性质非常稳定,不容易被强酸和强碱进行表面处理.采用JG-01金刚石铜粗...
  • 作者: 景博 汤巍 盛增津 胡家兴 董佳岩 黄以锋
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年4期
    页码:  315-320
    摘要: 针对板级焊点在振动载荷下的失效问题,搭建了具有焊点电信号监测功能的振动加速失效实验平台,在定频定幅简谐振动实验的基础上,对表征信号进行分析,通过电阻信号峰值标定焊点的失效程度.实验结果表明,...
  • 作者: 赵正平
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  321-329,334
    摘要:
  • 作者: 于洁 吴会丛 吴楠 李斌
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  330-334
    摘要: 采用0.25μm GaAs赝配高电子迁移率晶体管(PHEMT)工艺设计并实现了一款单片宽带混频器.该混频器采用双平衡混频器结构,以串联的两个漏源相连的PHEMT作为环形二极管电桥中的二极管以...
  • 作者: 周雅
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  335-339,399
    摘要: 提出了一种基于负阻退化技术的2.4 GHz高线性亚阈值混频器,该混频器相对于传统结构而言,增加了两个交叉耦合电容.由于该结构的内部负阻退化技术抵消了寄生电容,因而降低了寄生电容对增益和线性度...
  • 作者: 刘亚荣 杨丽燕 王永杰
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  340-346,357
    摘要: 利用Cadence集成电路设计软件,基于SMIC 0.18 μm 1P6M CMOS工艺,设计了一款2.488 Gbit/s三阶电荷泵锁相环型时钟数据恢复(CDR)电路.该CDR电路采用双环...
  • 作者: 曹增波 李晓波 杨私私 王静辉
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  347-351
    摘要: 近年来,图形化蓝宝石衬底(PSS)作为GaN基LED外延衬底材料被广泛应用.通过干法刻蚀和湿法腐蚀制备了不同规格和形状的蓝宝石衬底图形,并进行外延生长、芯片制备和封装验证,采用扫描电子显微镜...
  • 作者: 刘江 潘艳 王耀华 赵哿 金锐 高明超
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  352-357
    摘要: 高压绝缘栅双极晶体管(IGBT)存在寄生晶闸管,易发生闩锁失效.对p+深阱的参数进行了优化,制备了3 300 V p+深阱平面栅非穿通IGBT (NPT-IGBT).对NPT-IGBT的静态...
  • 作者: 余应森 刘志慧 屠孟龙 张伟珊 柴广跃
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  358-362,386
    摘要: 高压(HX)倒装LED是一种新型的光源器件,在小尺寸、高功率密度发光光源领域有广泛的应用前景.设计了4种不同工作电压的高压倒装LED芯片,进行了流片验证,并对其进行了免封装芯片(PFC)结构...
  • 作者: 凌超 孙湖 游小杰 肖春俊 黄先进
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  363-370
    摘要: 逆导型IGBT (RC-IGBT)是将IGBT功能与续流二极管功能集成在一个芯片上,实现了在相同封装体积下,可获得更大的功率密度,由于IGBT与二极管紧密的移相热耦合,在相同散热条件下,RC...
  • 作者: 唐彬浛 李富银 王颖
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  371-375,386
    摘要: 采用直流磁控溅射法分别将Cu (Ti)和Cu (Cr)合金层沉积在SiO2/Si衬底上,随后将制得的样品在真空(2×10-3 Pa)中退火1h,退火温度为300 ~ 700℃.对Cu (Ti...
  • 作者: 周浪 周耐根 孙喜莲 岳之浩 王涛 田罡煜 袁吉仁 高超 黄海宾
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  376-381,386
    摘要: 采用热丝化学气相沉积法在n型直拉单晶硅圆片表面双面沉积厚度为10 nm的本征非晶硅(α-Si∶H)薄膜.利用光谱型椭偏测试仪和准稳态光电导法研究热丝电流、H2体积流量和热丝与衬底之间的距离对...
  • 作者: 修向前 张士英 张荣 李悦文 陈丁丁 陈琳 陈鹏
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  382-386
    摘要: 采用金属Ga升华法在石墨烯/蓝宝石衬底上生长了高质量GaN纳米线,研究了不同的生长条件,如NH3流量、反应时间、催化剂和缓冲层等对GaN纳米线形貌的影响,采用扫描电子显微镜(SEM)对GaN...
  • 作者: 伍征义 刘志敏 张娇 徐婷婷 李毅 蒋蔚 陈培祖
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  387-393
    摘要: 相变存储器作为下一代具有竞争力的新型存储器,其基础和核心是相变存储介质.为了制备基于VO2薄膜的非易失性相变存储器,首先采用等离子体增强化学气相沉积法在氟掺杂二氧化锡(FTO)导电玻璃衬底上...
  • 作者: 买买提热夏提·买买提 亚森江·吾甫尔 阿布都艾则孜·阿布来提 高宝龙
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  394-399
    摘要: 在超高真空条件下,通过脉冲激光沉积(PLD)技术制作了Er2O3/Al2O3/Si多层薄膜结构,原位条件下利用X射线光电子能谱(XPS)研究了Al2O3作为势垒层的Er2O3与Si界面的电子...
  • 作者: 任达森 岳兰 罗胜耘 陈家荣
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年6期
    页码:  401-410,474
    摘要: 薄膜晶体管(TFT)作为开关元件广泛应用于平板显示领域,沟道层材料的选择直接影响了TFT的性能.近年来,基于非晶氧化物半导体(AOS)沟道层材料的TFT已成为具有潜力替代传统硅材料(非晶硅或...
  • 作者: 徐秋霞 许高博 陶桂龙
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年6期
    页码:  411-420
    摘要: 综述了硅基Ⅲ-Ⅴ族纳米线与异质结制备技术的研究进展.针对基于Ⅲ-Ⅴ族纳米线的半导体器件,重点介绍了硅基Ⅲ-Ⅴ族纳米线场效应晶体管的研究现状,详细介绍了硅基Ⅲ-Ⅴ族纳米线场效应晶体管和隧穿场效...
  • 作者: 张钊锋 梅年松 陈峥涛 魏哨静
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年6期
    页码:  421-425
    摘要: 采用电压控制的伪电阻结构,设计了一款具有超低频下截止频率调节功能的带通可变增益放大器(VGA),由于该结构具有可调节超大的等效电阻和反馈电容使VGA的下截止频率可以调节.提出了一种改进的甲乙...
  • 作者: 刘永强 吴洪江 王雨桐
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年6期
    页码:  426-430
    摘要: 基于90 nm栅长的InP高电子迁移率晶体管(HEMT)工艺,研制了一款工作于130 ~140 GHz的MMIC低噪声放大器(LNA).该款放大器采用三级级联的双电源拓扑结构,第一级电路在确...
  • 作者: 刘辉 孙朋朋 张蓉 王琦 罗卫军 耿苗
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年6期
    页码:  431-435
    摘要: 基于WIN 0.25 μm GaAs赝配高电子迁移率晶体管(PHEMT)工艺,设计并制备了一款X波段4 bit单片微波集成电路(MMIC)数字移相器.22.5°和45°移相单元采用开关滤波型...
  • 作者: 吕晓强 张万荣 杜成孝 杨坤 温晓伟 王娜 谢红云 金冬月
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2017年6期
    页码:  436-440,447
    摘要: 针对传统共漏-共栅-共源(CD-CG-CS)有源电感的不足,结合有源网络和受控辅助电阻支路,设计了一款具有大电感值,且可在不同频率下获得高Q峰值和在同一频率下对Q峰值进行大范围调谐的新型有源...

半导体技术基本信息

刊名 半导体技术 主编 赵小宁
曾用名
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共和国工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1003-353X CN 13-1109/TN
邮编 050002 电子邮箱 bdtj1339@163.com
电话 0311-87091339 网址
地址 石家庄179信箱46分箱

半导体技术评价信息

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1. 中国学术期刊光盘版《CAJ-CD》执行优秀期刊奖(03)
2. 中国科技论文统计用刊
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